Sentronics： SemDex A
應用領域：
電子裝配
半導體
SemDex A是德國SENTRONICS公司開發(fā)的全自動晶圓參數(shù)測量系統(tǒng)，具有高可靠性與高精度，此系統(tǒng)可進行多種升級以滿足不同的使用需求。
主要優(yōu)點
?產(chǎn)品應用
? 晶圓厚度（TTV）/多層薄膜厚度測量
? 晶圓翹曲度與彎曲度（Bow、Warp）測量
? 3D 形貌，關鍵尺寸測量（凸塊）
? TSV 深度的縱橫比測量
? RST 厚度測量
? 粗糙度測量
? 超薄膜厚度測量